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橢圓測(cè)厚儀

產(chǎn)品時(shí)間：2024-11-15

簡(jiǎn)要描述：

技術(shù)指標(biāo)：





編號(hào)


名稱


參數(shù)




1


測(cè)量范圍


1nm-300nm




2


測(cè)量小值


≤1nm




3


入射角


30°～90°0.1°




4


偏振器方位角讀數(shù)范圍


0°～180°




5


度盤刻度


每格2

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橢圓偏振測(cè)厚儀 橢圓測(cè)厚儀 型號(hào)：HD-SGC-1A

技術(shù)指標(biāo)：

 

編號(hào)

名稱

參數(shù)

1

測(cè)量范圍

1nm-300nm

2

測(cè)量小值

≤1nm

3

入射角

30°～90°≤0.1°

4

偏振器方位角讀數(shù)范圍

0°～180°

5

度盤刻度

每格2度

6

游標(biāo)小讀數(shù)

0.05°

7

光學(xué)中心高度

152mm

8

工作臺(tái)直徑

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主機(jī)重量

20kg

橢圓偏振測(cè)厚儀 橢圓測(cè)厚儀 型號(hào)：HD-SGC-1A

技術(shù)指標(biāo)：

 

編號(hào)

名稱

參數(shù)

1

測(cè)量范圍

1nm-300nm

2

測(cè)量小值

≤1nm

3

入射角

30°～90°≤0.1°

4

偏振器方位角讀數(shù)范圍

0°～180°

5

度盤刻度

每格2度

6

游標(biāo)小讀數(shù)

0.05°

7

光學(xué)中心高度

152mm

8

工作臺(tái)直徑

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主機(jī)重量

20kg

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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